WF6 се използва главно като суровина за процеса на химическо отлагане на пари (CVD) на метален волфрам в електронната индустрия. WSi2, направен от WF6, може да се използва като материал за окабеляване в широкомащабни интегрални схеми (LSI), а също така може да се използва като суровина за полупроводникови електроди, флуорни суровини за химически агенти, катализатори на полимеризация, оптични материали и др.