WF6 се използва главно като суровина за процеса на химическо отлагане от пари (CVD) на метален волфрам в електронната индустрия. WSi2, произведен от WF6, може да се използва като материал за окабеляване в големи интегрални схеми (LSI), а също така може да се използва като суровина за полупроводникови електроди, флуорни суровини за химични агенти, катализатори за полимеризация, оптични материали и др.